Tropfenkonturanalyse-System DSA100W

DSA100W

Automatische Bestimmung von Kontaktwinkeln und Oberflächenenergie an Wafern

Das DSA100W, der so genannte Wafertester, ist die optimale Konfiguration für die automatische Vermessung flacher, runder Probenkörper, wie zum Beispiel einem Siliziumwafer. Mit dem integriertem Modul des Surface-Mapping lässt sich so die gesamte Oberfläche eines bis zu 12“ messenden Wafers charakterisieren. Die Bestimmung von Kontaktwinkeln und Oberflächenenergien sind Bestandteil der Kombination.

Konfiguration DSA100W

Dosierung

Software-gesteuertes Einzeldosiersystem

Kamera

Standard-Kamera mit 25 fps

Optik

Manueller Zoom / Fokus

Beleuchtung

Software-gesteuerte Beleuchtung

Achsen

Software-gesteuerte z-Achse
Software-gesteuerte x/y-Achse mit 170 mm Verfahrweg

Probenbühen

Software-gesteuerter 300 mm Wafertisch

Software

Software zur Bestimmung des statischen und  dynamischen Kontaktwinkels
Software zur Bestimmung der Oberflächenenergie der Festkörper

Technische Daten

Maximale Probenabmessungen (BxTxH)

300 x ∞ x 150 mm
(500 x ∞ x 150 mm in der Version mit langem Rahmen)

Abmessungen des Probentisches (LxB)

105 x 105 mm (Ø 300 mm)
(500 x 500 mm in der Version mit langem Rahmen)

Messbereich Kontaktwinkel

  • 0 bis 180°
  • +/- 0,1° Messgenauigkeit

Messbereich Oberflächenspannung

  • 1x10-2 bis 1000mN/m
  • 0,01mN/m Messauflösung

Optik

  • 7-fach Zoom
  • FOV 4 -28,13 mm diagonal
  • Fremdlichtkompensierung
  • Integrierter Fokus
  • Hochleistungs-Variofeldbeleuchtung
  • Neigungseinstellung ohne Verschiebung der Bildebene
  • Patentierter Aufbau des optischen Systems

Videosystem

  • 50 fp/s (360 oder 1000 fp/s optional)
  • Online bis zu 100 Auswertungen / Sekunde
  •  Videosequenzen (Länge von Speicherausstattung abhängig)
  • Automatische Triggerung der Messung / Aufnahme

Software 

6 verschiedene Konturanalysen für Sessile Drop, automatische Basislinie für beliebige Kontaktwinkel, Option für gekrümmte Basislinien, Pendant Drop Methode, Videosequenzen, Prozedurdefinitionen, Masterdrop-Definitionen, Oberflächenenergieberechnung nach Fowkes, extended Fowkes, Wu, Zismann, Owens-Wendt-Rabel, van Oss & Good, Neumann, Berechnung des Wetting envelopes etc...

Temperaturmessung und -messbereich

-60 bis 400°C

Abmessungen (BxTxH)

620 × 380 × 610mm (954 x 380 x 610)* 

Gewicht

25 bis 45 kg

Netzteil

110 bis 240 VAC

Schnittstelle

Über einen Adapter ist der Anschluss an den
USB-Anschluss des PC möglich